产品与服务

TEMIC MIS Discovery

特殊晶圆电子束缺陷复检,全自动化在线检测设备,符合先进封装制程的洁净度与残留电荷最高要求
为Wafer on FFC客制设计,汇入AOI缺陷坐标进行SEM/EDS Review。

规格

Sample

385mm FFC

Warpage

5mm

WPH

1.3

  1. 全自动 SEM + EDX。
  2. 专利静电去除。
  3. 支援OHT。
  4. SECS/GEM。
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