特殊晶圆电子束缺陷复检,全自动化在线检测设备,符合先进封装制程的洁净度与残留电荷最高要求 为Wafer on FFC客制设计,汇入AOI缺陷坐标进行SEM/EDS Review。
Sample
385mm FFC
Warpage
5mm
WPH
1.3