产品与服务

D-Sensor Bridge Beam

透过自动监测探针卡平坦度及水平偏移量,判断是否发布警示,并依此避免测试异常。

规格

Platform

Advantest V93k

Measuring range

3,000µm

Resolution

<0.5µm(Static)

Z-axis

  1. 实现测试中Z方向上probe card与bridge beam距离和水平度监控。
  2. 汉民测试与爱德万携手合作测试单元监控系统,可做数据整合以监控测试环境。
  3. D-sensor与爱德万 Force sensor,同时适用实时监控。

Y-axis

  1. 监控探针卡stiffener以推断潜在针痕偏移。
  2. 汉民测试与爱德万携手合作测试单元监控系统,可做数据整合以监控测试环境。
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